工作条件：设备在环境温度为(25±5)℃，相对湿度不大于90%的条件下才能正式工作。设备进水温度不高于25℃，用自来水冷却。电源是三相(380±38)V或单相(220±22)V。频率为(50±1) Hz。设备应有安全要求，设有水流报警装置，有防触电保护措施，接地绝缘电阻应符合国家有关标准。设备的极限压力、恢复真空时间、烘烤加热温度等都应符合有关标准规定。

    表5-32和表5-33是蒸发镀膜设备的基本参数和漏气速率。

    表5-32    蒸发镀膜设备的基本参数

表5-33    蒸发蒸镀膜设备的漏气速率