购买AZO、ITO靶材的注意事项

购买AZO、ITO靶材的注意事项

1、靶材密度，这个是较主要的，好的靶密度至少达到97%以上，所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下，靶的密度和理论块体的密度的比例有多少，低于90%不符合标准。
2、开裂问题，套磁靶很容易开裂，所以大家一定要求用cu的背板，这个是必须的，另外靶材不宜太厚，小于5mm较好了。金属靶是不大会开裂的，否则它的密度肯定很差。
3、电导率对于AZO，ITO靶材来说非常重要的，买回来可以测测他们的电导率是多少，不同公司用的粉不同，电导率有很大差别，电阻率越小做出来的膜导电性肯定越好。

蒂姆（北京）新材料科技有限公司

www.dmmaterial.com