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硅靶材(Si)

评论:0
品牌 蒂姆科瑞特
材质 Si
规格 99.999% 靶材尺寸可定制
供货状态 靶材
相关产品 金锡合金靶材,钛铝合金靶材,钛钨合金靶材,镍铬合金靶材
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硅(Si),有无定形硅和晶体硅两种同素异形体。晶体硅为灰黑色,无定形硅为黑色,密度2.32-2.34克/立方厘米,熔点1410℃,沸点2355℃,晶体硅属于原子晶体。不溶于水、硝酸和盐酸,溶于氢氟酸和碱液。硬而有金属光泽。

Si 靶材镀膜行业金属材料 (5).jpg


物理性质:

原 子 量:28.0855

熔    点:1410℃

沸    点:2355℃

密    度:3.42g/cm3

折 射 率:3.42

电 阻 率/μΩ.cm:500

线膨胀系数/℃-1:3.0×10-6

蒸发温度:饱和蒸汽压1.33Pa时1350℃

蒸发源材料:Be、ZrO2、ThO2、C(坩埚)


二、主要用途:

适用于磁控溅射制备锂薄膜


三、适用领域

1适用溅射设备品牌:

A.适用设备:单靶溅射系统,双靶溅射系统,JC500型磁控溅射仪,DE300DL 磁控溅射系统

B.适用设备品牌:

国产品牌:南光机器厂、北京仪器厂、金盛微纳、沈阳科仪、JK-LASKER、微电子所等品牌

2常规尺寸:

1.直径:1英寸,2英寸,3英寸,4英寸,5英寸等不同直径

2.厚度:1mm2mm,3mm,4mm等尺寸可定做


四、产品详细价格:

货号

产品名称

规格

包装

数量

交货期

备注

Si-T6025P1

P型硅 靶材

99.9999% φ50.8*5mm <0.0001Ω.cm

1

7-10个工作日


Si-T6025N1

N型硅 靶材

99.9999% φ50.8*5mm <0.0001Ω.cm

1

7-10个工作日


Si-T6025N2

N型硅 靶材

99.9999% φ50.8*5mm 1-10Ω.cm

1

7-10个工作日


Si-T6025

本征硅 靶材

99.9999% φ50.8*5mm

1

7-10个工作日


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