二硼化锆为六方体晶型,灰色结晶或粉末,相对密度5.8,熔点为3040℃。耐高温,常温和高温下强度均很高。耐热震性好,电阻小,高温下抗氧化。熔点约3000℃。带金属光泽。硼化锆粉末可用作宇航耐高温材料、耐磨光滑的固体材料、切削工具、温差热电偶保护管以及电解熔融化合物的电极材料。特别适于用作滚动轴承滚珠的表面。
物理性质:熔点:3040℃,相对密度:5.8
一、主要用途
适用于磁控溅射制备薄膜
二、适用领域
1、适用溅射设备品牌:
A.适用设备:单靶溅射系统,双靶溅射系统,JC500型磁控溅射仪,DE300DL 磁控溅射系统
B.适用设备品牌:国产品牌:南光机器厂、北京仪器厂、金盛微纳、沈阳科仪、JK-LASKER、微电子所等品牌
进口品牌:美国MRC,CVC、Varian公司等品牌
2、常规尺寸:
1.直径:1英寸,2英寸,3英寸,4英寸,5英寸等不同直径
2.厚度:1mm,2mm,3mm,4mm等尺寸可定做
三、产品详情及价格:
货号 | 产品名称 | 规格 | 包装 | 数量 | 交期 | 备注 |
ZrB2-T2573 | 二硼化锆 靶材(ZrB2) | 99.5% φ100*3mm | 片 | 1 | 15-20个工作日 |
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ZrB2-T2573B1 | 二硼化锆 靶材(ZrB2) | 99.5% φ100*3mm绑定1mm铜背靶 | 片 | 1 | 15-20个工作日 |
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