二氧化硅，又称硅石，化学式SiO₂。自然界中存在有结晶二氧化硅和无定形二氧化硅两种。化学性质比较稳定。不溶于水也不跟水反应。是酸性氧化物，不跟一般酸反应。气态氟化氢跟二氧化硅反应生成气态四氟化硅。跟热的浓强碱溶液或熔化的碱反应生成硅酸盐和水。跟多种金属氧化物在高温下反应生成硅酸盐。用于制造石英玻璃、光学仪器、化学器皿、普通玻璃、耐火材料、光导纤维，陶瓷等。

一、物理性质：

化学符号：SiO2

沸    点：2230℃

纯    度：4N

规    格：1-4mm,颗粒，靶材

分 子 量：60.08

外    观：白色

熔    点：1700℃

密    度：2.2-2.7g/cm3   

在10-4Torr真空下蒸发温度为：1025℃

透 明 区/nm：200-8000

相对介电常数：3-4

击穿电压/V？cm-1：106

厚    度μm：0.03-0.3

沉积技术：反应溅射

折 射 率(波长/nm)：1.46(500)

                   1.445(1600)

线膨胀系数/℃-1:5.5×10-7

蒸发方式：电子束

性    能： 可用钽舟加热蒸发，也可用三氧化二铝坩埚加热蒸发，但由电阻加热蒸发会产生分解，由电子束加热蒸发效果很好；不溶于水和酸，但溶于氢氟酸；其微粒能与熔融碱起作用；

应    用： 二氧化硅用途广泛，主要用于冷光膜、防反膜、多层膜、滤光片、绝缘膜、眼镜膜、紫外膜等。

二、适用领域：

1、适用溅射设备品牌：

A.适用设备：单靶溅射系统，双靶溅射系统，JC500型磁控溅射仪，DE300DL 磁控溅射系统

B.适用设备品牌：

国产品牌：南光机器厂、北京仪器厂、金盛微纳、沈阳科仪、JK-LASKER、微电子所等品牌

2、常规尺寸：

1.直径：1英寸，2英寸，3英寸，4英寸，5英寸等不同直径

2.厚度：1mm，2mm，3mm，4mm等尺寸可定做

三、产品详细价格：

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