蒂姆(北京)新材料科技有限公司可提供多种成分、多种尺寸、多种合金靶材。 常用参数: 靶材纯度:99.99% 制备工艺:真空熔炼、粉末冶金等 靶材形态:平面靶、多弧靶、台阶靶、异形靶 圆靶尺寸:φ25.4*3mm、φ50*3mm、φ50.8*4mm、φ60*3mm、φ76.2*3mm、φ80*4mm、φ101.6*5mm、φ152.4*6mm 尺寸可定制 方靶尺寸:50*50*3mm、100*100*4mm、300*300*5mm 尺寸可定制 绑定服务:靶材亦可提供铜背靶铟焊绑定服务,提高陶瓷靶材导电导热性,提高使用效率
包装方式:真空包装
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化学式 | 品名 | 纯度(%) | 常用比例 | 适用设备 |
WTa | 钨钽合金 靶材 | 3N5 | W:Ta=95:5 wt% | 磁控溅射设备 |
TiSi | 钛硅合金 靶材 | 3N | Ti:Si=1:2 at% | 磁控溅射设备 |
TiW | 钛钨合金 靶材 | 2N5,4N | W:Ti=90:10 wt% | 磁控溅射设备 |
TiNiAg | 钛镍银合金 靶材 | 3N | Ti:Ni:Ag=70:20:10 at% | 磁控溅射设备 |
AlSiY | 铝硅钇合金 靶材 | 3N | Al:Si:Y=94.3:4.5:1.2 wt% | 磁控溅射设备 |
AlLi | 铝锂合金 靶材 | 3N5 | Al:Li=95:5 wt% | 磁控溅射设备 |
CrAl | 铝铬合金 靶材 | 2N5 | Cr:Al=80:20 at% | 磁控溅射设备 |
NiCr | 镍铬合金 靶材 | 3N | Ni:Cr=80:20 wt% | 磁控溅射设备 |
FeGa | 铁镓合金 靶材 | 3N | Fe:Ga=83:17 wt% | 磁控溅射设备 |
FeTe | 铁镓合金 靶材 | 2N5 | Fe:Te=3:2 at% | 磁控溅射设备 |
CoTe | 钴碲合金 靶材 | 2N5 | Co:Te=3:2 at% | 磁控溅射设备 |
CuZr | 铜锆合金 靶材 | 2N5 | Cu:Zr=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
CuZr | 铜锆合金 靶材 | 2N5 | Cu:Zr=1:2 at% | 磁控溅射设备 |
CuNi | 铜镍合金 靶材 | 2N5 | Cu:Ni=85:15 at% | 磁控溅射设备 |
CuNi | 铜镍合金 靶材 | 3N5 | Cu:Ni=50:50 at% | 磁控溅射设备 |
CuNiIn | 铜镍铟合金 靶材 | 3N5 | Cu:Ni:In=59:36:5 wt% | 磁控溅射设备 |
CuAl | 铜铝合金 靶材 | 4N | Cu:Al=95:5 at% | 磁控溅射设备 |
CuAl | 铜铝合金 靶材 | 4N | Cu:Al=84:16 at% | 磁控溅射设备 |
SiCo | 硅钴合金 靶材 | 2N5 | Si:Co=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
SiZr | 硅锆合金 靶材 | 2N5 | Si:Zr=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
SiNi | 硅镍合金 靶材 | 2N5 | Si:Ni=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
ZrAg | 锆银合金 靶材 | 2N5 | Zr:Ag=95:5 at% | 磁控溅射设备 |
SnAgBi | 锡银铋合金 靶材 | 3N5 | Sn:Ag:Bi=64:1:35 at% | 磁控溅射设备 |
NiCr | 镍铬合金 靶材 | 4N | Ni:Cr=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
NiAl | 镍铝合金 靶材 | 2N5 | Ni:Al=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
NiSi | 镍硅合金 靶材 | 2N7 | Ni:Si=1:1 at% | 磁控溅射设备 |
NiNb | 镍铌合金 靶材 | 3N5 | Ni:Nb=60:40 at% | 磁控溅射设备 |
NiFe | 镍铁合金 靶材 | 4N | Ni:Fe=81:19 wt% | 磁控溅射设备 |
MnCoNi | 锰钴镍合金 靶材 | 2N5 | Mn:Co:Ni=1.56:0.96:0.48 at% | 磁控溅射设备 |
LA141 | LA141合金 靶材 | 3N | Mg:Al:Li=85:1:14 wt% | 磁控溅射设备 |
MgCeNi | 镁铈镍合金 靶材 | 2N5 | Mg:Ce:Ni=80:10:10 at% | 磁控溅射设备 |
MnCoNiCuCa | 锰钴镍铜钙合金 靶材 | 2N5 | Mn:Co:Ni:Cu:Ca=1.36:0.86:0.48:0.2:0.1 at% | 磁控溅射设备 |
Ti-54Al-14Cr-1.0Y | 钛铝铬钇合金 靶材 | 2N7 | Ti:Al:Cr:Y=31:54:14:1 at% | 磁控溅射设备 |
Ti-54Al-14Cr-1.0Hf | 钛铝铬铪合金 靶材 | 2N7 | Ti:Al:Cr:Hf=31:54:14:1 at% | 磁控溅射设备 |
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