陶瓷靶材使用注意事项

       蒂姆（北京）新材料科技有限公司（以下简称“蒂姆新材料”）采用高纯化合物粉末为原料，通过常压烧结法、真空热压法以及热等静压法等工艺成型，经过精密机械加工而成，靶材晶粒度小、纯度高、致密度高。

       陶瓷类靶材本身质脆且导热性差。建议绑定铜背靶！背靶材料是具有良好的导电性和导热性的无氧铜，一般选择2-3mm厚度，采用金属铟进行焊接绑定。

       使用注意事项：

1、靶材清洁：清洗建议用“无绒布”进行清洁，再用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

2、靶材安装：一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲，背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响，导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶。

3、靶材预溅射：

A：靶材应该经历一个（功率）缓慢增加的过程，陶瓷靶材的功率逐渐加大。在进行预溅射的同时检查靶材起辉情况，如没有起辉现象，继续提升溅射功率到设定功率。

B:沉积之后，功率应同样的缓慢下降，使靶材缓慢冷却。突然切断电源和冷却水会导致靶材在温度骤变中开裂。

C:另注意确保冷却水的循环系统能有效工作，通过冷却水的快速循环带走热量，确保冷却水出口的水温低于35摄氏度，

D: 连续溅射时间不宜太长，且使用后的靶材务必真空干燥储存，防止靶材潮解粉化、影响正常使用。

因操作不当造成的靶材碎裂，责任自负。

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